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掃描電鏡如何避免樣品在腔內(nèi)“漂移”?

日期:2025-04-09

掃描電鏡(SEM)中樣品在腔內(nèi)出現(xiàn)“漂移”現(xiàn)象,通常表現(xiàn)為圖像位置緩慢移動或無法穩(wěn)定對焦,嚴重時甚至圖像模糊、重影。這種“漂移”多由環(huán)境因素、樣品特性或設(shè)備狀態(tài)引起。以下是常見原因與應(yīng)對方法:

常見原因及解決方案:

1. 樣品未固定牢靠

原因:樣品未與樣品臺完全接觸,存在松動、翹曲或彈性變形。

解決:使用導電膠、碳膠帶或金屬夾具將樣品緊貼樣品托盤,確保牢固壓緊。

2. 樣品膨脹或脫氣

原因:濕樣品或低真空兼容性差的材料在抽真空過程中釋放氣體或微膨脹。

解決:

預(yù)烘干樣品(尤其是生物、聚合物、潮濕材料);

考慮使用低真空或環(huán)境掃描電鏡(ESEM);

減少束流強度,避免加熱導致氣化。

3. 靜電積聚導致樣品位移

原因:非導體樣品充電后產(chǎn)生靜電力,導致圖像漂移。

解決:

對樣品進行導電鍍膜(如金、鉑、碳);

使用低加速電壓(如 <5 kV);

加接地導線,或使用導電膠與樣品臺良好接地。

4. 熱漂移

原因:電子束照射樣品時產(chǎn)生微小熱膨脹,導致熱漂移。

解決:

預(yù)先用電子束低劑量“預(yù)照”樣品,等其達到熱穩(wěn)定;

減少電子束聚焦時間與強度;

等待樣品在腔體內(nèi)“熱平衡”幾分鐘后再正式拍攝。

5. 環(huán)境震動或電磁干擾

原因:實驗室地面震動、電梯/空調(diào)設(shè)備干擾等。

解決:

使用減震桌、防震平臺;

盡量在設(shè)備周圍保持電磁環(huán)境穩(wěn)定;

關(guān)閉附近干擾源(如大型馬達、電焊機等)。

6. 樣品托盤或機械部件松動

原因:載物臺機械結(jié)構(gòu)松動或定位不到位。

解決:

檢查樣品托盤是否擰緊;

檢查樣品桿、支架是否有間隙或磨損;

如長期存在,聯(lián)系維護人員檢查樣品臺系統(tǒng)。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡如何避免樣品在腔內(nèi)“漂移”。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢 




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作者:澤攸科技


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