判斷掃描電子顯微鏡（SEM）成像是否正常，需要從圖像質(zhì)量、設(shè)備狀態(tài)、樣品制備等多個(gè)維度進(jìn)行綜合判斷。以下是詳細(xì)的檢查要點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)：

 一、圖像質(zhì)量判斷標(biāo)準(zhǔn)

1. 圖像是否清晰

清晰圖像應(yīng)具備良好的邊緣對(duì)比度，結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)可辨；

模糊可能由聚焦不準(zhǔn)、樣品漂移、鏡筒污染引起。

2. 對(duì)比度是否適中

圖像中應(yīng)能清楚分辨出高、低原子序的材料區(qū)域；

若對(duì)比度過(guò)低，可能是探測(cè)器設(shè)置或加速電壓不當(dāng)。

3. 是否存在明顯噪聲或干擾

正常圖像應(yīng)平滑，無(wú)明顯雜散斑點(diǎn)、橫條紋、雪花點(diǎn)；

噪聲過(guò)多常由：

探測(cè)器故障；

接地不良；

電磁干擾；

真空不好造成電子束不穩(wěn)定。

4. 圖像是否穩(wěn)定（無(wú)拖影或漂移）

拖影通常表明樣品帶電、樣品未固定牢靠或掃描速度過(guò)快；

檢查樣品接地、掃描參數(shù)和樣品夾持狀態(tài)。

5. 放大倍數(shù)與分辨率是否匹配

高倍圖像應(yīng)展示細(xì)節(jié)清晰、邊界銳利；

如果高倍圖像仍模糊不清，需檢查對(duì)焦、物鏡孔徑或樣品表面狀態(tài)。

 二、儀器運(yùn)行狀態(tài)檢查

1. 真空狀態(tài)

真空不好可能導(dǎo)致電子束散射，圖像發(fā)虛、噪聲多；

檢查系統(tǒng)是否報(bào)真空?qǐng)?bào)警，觀察真空計(jì)讀數(shù)。

2. 電子槍狀態(tài)

發(fā)射電流是否穩(wěn)定；

是否有提示燈絲老化或電壓不穩(wěn)定。

3. 掃描參數(shù)設(shè)置是否合理

加速電壓（一般 1–30 kV）；

工作距離（通常 5–15 mm）；

探測(cè)器選擇（SE, BSE, EDS 等）是否合適；

是否正確選用慢速掃描模式進(jìn)行高質(zhì)量成像。

三、樣品狀態(tài)檢查

1. 樣品導(dǎo)電性

非導(dǎo)電樣品若未鍍金/碳，可能導(dǎo)致充電效應(yīng) → 圖像漂移或亮斑；

使用非導(dǎo)電樣品前應(yīng)進(jìn)行金屬鍍膜處理。

2. 樣品是否清潔、固定牢靠

粉末樣品應(yīng)噴膠固定；

若樣品在真空中移動(dòng)，圖像會(huì)跳動(dòng)或模糊。