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壓電物鏡NF100LA

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    采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米級物鏡掃描臺(tái),內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),確保了掃描臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。掃描臺(tái)內(nèi)置精移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級。掃描臺(tái)為無磁材質(zhì),使用過程中不產(chǎn)生磁場同時(shí)也不受磁場的影響。聚焦行程可達(dá)100微米。分體的螺紋適配器,可適配多種型號的物鏡。

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