掃描電鏡帶能譜是一種體積小巧，可安放在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上操作的臺(tái)式電子顯微鏡。它的電子光學(xué)系統(tǒng)、探測(cè)器、電路控制系統(tǒng)、信號(hào)采集系統(tǒng)和操作軟件均為自主研制。獨(dú)立研發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，使拍攝圖片具有更高的信噪比和對(duì)比度。配合很高的信號(hào)采集帶寬，可以在視頻幀率下高質(zhì)量的流暢顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作，無需光闌對(duì)中等復(fù)雜步驟。主機(jī)集成高壓及控制系統(tǒng)，是目前市面上體積較小的臺(tái)式掃描電鏡，便于移動(dòng)，安裝無需特殊環(huán)境。

　　首先我們要了解掃描電鏡帶能譜的原理：

　　從電子槍中發(fā)射出高能電子束撞擊樣品表面，與原子的內(nèi)層電子發(fā)生非彈性散射作用時(shí)，使原子發(fā)生電離，從而使原子失去一個(gè)內(nèi)層電子而變成離子，并在該電子層對(duì)應(yīng)位置產(chǎn)生一個(gè)空穴，原子為了恢復(fù)到穩(wěn)定態(tài)，較外層的電子就會(huì)填補(bǔ)到這個(gè)空穴，在填補(bǔ)過程中同時(shí)會(huì)產(chǎn)生具有特征能量的X射線，探測(cè)器接收到這些特征X射線后，經(jīng)過分析處理轉(zhuǎn)換得到譜圖和分析數(shù)據(jù)輸出。

　　下面我們來看看掃描電鏡帶能譜的主機(jī)特色：

　　僅需鼠標(biāo)即可完成所有操作，無須對(duì)中光闌等復(fù)雜步驟；

　　亮度/對(duì)比度一鍵自適應(yīng)，自動(dòng)/手動(dòng)聚焦；

　　抽真空時(shí)間小于90秒；

　　標(biāo)配光學(xué)導(dǎo)航，搭配多樣品臺(tái)，實(shí)現(xiàn)快速找樣及切換樣品；

　　信號(hào)采集帶寬10M，掃描速度快；

　　視頻模式下實(shí)時(shí)觀察樣品，操作流暢，無卡頓；

　　四分割背散射電子探測(cè)器（多種成像模式）、二次電子探測(cè)器；

　　BSE+SE模式（任意比列混合）、集成EDS元素分析功能。

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