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掃描電子顯微鏡與圖像分辨力有關(guān)的幾個(gè)主要因素

在目前微觀形貌的分析研究中,隨著半導(dǎo)體器件等高新技術(shù)的發(fā)展,往往要求對(duì)表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)能夠更深入地觀察和了解,因此發(fā)展高分辨力的電鏡一直是生產(chǎn)廠商和用戶們所追求的共同目標(biāo)。要獲得一張清晰、高分辨的照片,不僅要有一臺(tái)性能優(yōu)越的高分辨力掃描電子顯微鏡,而且還取決于試樣自身的特征和操作人員的工作經(jīng)驗(yàn),即要考慮以下幾種因素:(1...

MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-27

掃描電子顯微鏡二次電子圖像性質(zhì)

二次電子是相對(duì)于入射電子的一種提法。它是指被高能入射(也稱為一次或初次)電子束轟擊出來的試樣中的核外電子。由于原子核和外層價(jià)電子間的結(jié)合能很小,當(dāng)原子的核外電子從入射電子那里獲得大于相應(yīng)的結(jié)合能后,就可脫離原子核的約束而成為自由電子。如果這種脫離過程發(fā)生在試樣表面和亞表面層,那么這些能量大于材料逸出功的電子就可以從試樣...

MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-25

掃描電鏡中背散射電子的特點(diǎn)和作用

當(dāng)掃描電鏡的電子束轟擊試樣表面時(shí),電子束會(huì)進(jìn)入試樣內(nèi)部,產(chǎn)生散射現(xiàn)象,電子束在散射后會(huì)改變前進(jìn)方向,而且還會(huì)損失部分能量,隨之而來產(chǎn)生各種其他信息,如熱、俄歇電子、X射線、可見光、二次電子、背散射電子等。當(dāng)入射電子與試樣相互作用后,其中有一部分電子會(huì)返回表面逸出,則這部分被返回表面逸出的原入射電子被稱為背散射電子。在實(shí)...

MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-25

臺(tái)式掃描電鏡在試樣前要做哪些準(zhǔn)備

 臺(tái)式掃描電鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)組成。   電子光學(xué)系統(tǒng):電子光學(xué)系統(tǒng)由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào)的激發(fā)源?! ‰娮訕專浩渥饔檬抢藐帢O與陽極燈絲間的高壓產(chǎn)生高能量的電子束?! ‰姶磐哥R:其作用是把電子槍的束斑...

MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-24

你知道掃描電子顯微鏡的功能有幾點(diǎn)

掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí),被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí),也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)(聲子)、電子振蕩(等離子體)。   原則上講,利用電子和物質(zhì)的相互...

MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-24

桌面型掃描電鏡的結(jié)構(gòu)組成與幾個(gè)使用特點(diǎn)介紹

 桌面型掃描電鏡的掃描速度快,信號(hào)采集帶寬10M,可以在視頻模式下流暢實(shí)時(shí)的顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作,不需對(duì)中光闌等復(fù)雜步驟,聚焦消像散后可直接拍圖。  桌面型掃描電鏡的結(jié)構(gòu)組成: 區(qū)別于傳統(tǒng)掃描電鏡的笨重機(jī)身,ZEM15主機(jī)成高壓及控制系統(tǒng),體積小巧,便于移動(dòng),安裝無需特殊環(huán)境,只需找一張桌子,...

MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-24

掃描電鏡能譜一體機(jī)的主要特性及優(yōu)點(diǎn)都有哪些

 掃描電鏡能譜一體機(jī)是光學(xué)表征儀器產(chǎn)品的全明星,用戶通過一臺(tái)設(shè)備就可以實(shí)現(xiàn)形貌表征及元素分析功能。研究樣品時(shí),得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。   掃描電鏡能譜一體機(jī)內(nèi)部集成了用于分析樣品元素組分的能譜儀。對(duì)于很多既需要觀察表面形貌又要檢測(cè)表面元素組分分布的用戶非常適用,...

MORE INFO → 行業(yè)動(dòng)態(tài) 2022-05-24

認(rèn)識(shí)一臺(tái)掃描電鏡帶能譜儀從它的原理及主機(jī)的特色開始

掃描電鏡帶能譜是一種體積小巧,可安放在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上操作的臺(tái)式電子顯微鏡。它的電子光學(xué)系統(tǒng)、探測(cè)器、電路控制系統(tǒng)、信號(hào)采集系統(tǒng)和操作軟件均為自主研制。獨(dú)立研發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì),使拍攝圖片具有更高的信噪比和對(duì)比度。配合很高的信號(hào)采集帶寬,可以在視頻幀率下高質(zhì)量的流暢顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作,無需光闌對(duì)中等復(fù)雜步驟...

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