1960年代，掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope）問(wèn)世，它利用高能電子束對(duì)樣品進(jìn)行掃描成像。 電子與構(gòu)成樣品的原子的相互作用可以產(chǎn)生包含樣品表面的形貌、成分和其他信息的信號(hào)。接下來(lái)澤攸小編將主要介紹一下臺(tái)式掃描電鏡的工作原理。

從原理上講，掃描電子顯微鏡是利用非常精細(xì)聚焦的高能電子束在樣品上掃描，激發(fā)各種物理信息。 通過(guò)對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，可以獲得對(duì)試樣表面形貌的觀察
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掃描電子顯微鏡（SEM）——一種電子光學(xué)儀器，它利用很細(xì)的電子束掃描被觀察樣品的表面，收集電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的一系列電子信息，并對(duì)圖像進(jìn)行變換和放大。它是研究三維表面結(jié)構(gòu)的有用工具。在高真空鏡筒中，電子槍產(chǎn)生的電子束通過(guò)電子會(huì)聚透鏡聚焦成細(xì)束，然后逐點(diǎn)掃描轟擊樣品表面。產(chǎn)生一系列電子信息（二次電子、背反射電子、透射電子、吸收電子等），檢測(cè)器接收各種電子信號(hào)，經(jīng)電子放大器放大后輸入到顯像管控制的顯像管。顯像管網(wǎng)格。當(dāng)聚焦的電子束掃描樣品表面時(shí)，樣品的不同部位具有不同的物理、化學(xué)性質(zhì)、表面電位、元素組成和不均勻的形貌，從而產(chǎn)生不同的電子束激發(fā)的電子信息，從而導(dǎo)致電子顯像管的光束強(qiáng)度也不斷變化，zui終在顯像管的熒光屏上可以得到與樣品表面結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的圖像。根據(jù)探測(cè)器接收到的不同電子信號(hào)，可以分別得到樣品的背散射電子圖像、二次電子圖像和吸收電子圖像。 掃描電子顯微鏡的分辨率可達(dá)50~100?，電子放大倍數(shù)可連續(xù)變化十倍至幾十萬(wàn)倍。因此，可以仔細(xì)觀察樣品的整個(gè)表面。       

ZEM臺(tái)式掃描電鏡

        
希望澤攸科技小編的介紹能為對(duì)臺(tái)式掃描電鏡的工作原理的研究提供參考，關(guān)于掃描電鏡價(jià)格請(qǐng)咨詢