隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展，掃描電鏡及其組合分析功能相繼出現(xiàn)，如微熱臺和冷臺系統(tǒng)，主要用于觀察和分析材料在加熱過程中微觀結(jié)構(gòu)的變化和冷凍；平臺系統(tǒng)主要用于觀察和分析受力過程中發(fā)生的微觀結(jié)構(gòu)變化。掃描電鏡結(jié)合其他設(shè)備的新分析功能，在新材料、新工藝的探索和研究中發(fā)揮著重要作用。那么掃描電鏡的工作原理是怎樣的呢？接下來澤攸科技小編就帶大家了解一下掃描電子顯微鏡的工作原理。

下圖就是臺式掃描電子顯微鏡的工作原理示意圖。由電子槍發(fā)出的電子束經(jīng)過柵極靜電聚焦后成為直徑50微米的點光源，然后在加速電壓作用下，經(jīng)兩三個透鏡組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，電子束被會聚成幾十埃大小聚焦到樣品表面。在末級透鏡上有掃描線圈，它的功能是使電子束在樣品表面掃描。由于高能電子束與試樣物質(zhì)的相互作用，產(chǎn)生各種信號（二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子等），這些信號被相應(yīng)的接收器接收，經(jīng)放大器放大處理后經(jīng)過運算電路處理，呈現(xiàn)在顯示屏上。由于掃描線圈的電流與運算電路的相應(yīng)偏轉(zhuǎn)電流同步，因此試樣表面任意點的發(fā)射信號與顯示屏上的亮度一一對應(yīng)。也就是說，電子束打到試樣上一點時，在顯示屏上就出現(xiàn)一個亮點。而我們所要觀察的試樣在一定區(qū)域的特征，則是采用臺式掃描電子顯微鏡的逐點成像分解法顯示出來的。試樣表面由于形貌不同，對應(yīng)于許多不相同的單元（稱為像元），它們在電子束轟擊后，能發(fā)出二次電子、背散射電子等信號，依次從各像元檢出信號，再一一傳送出去。傳送的順序是從左上方開始到右下方，依次一行一行地傳送像元，直至傳送完一幅或一幀圖像。采用這種圖像分解法，就可以用一套線路傳送整個試樣表面的不同信息。為了按照規(guī)定的順序檢測和傳送各像元處的信息，就要把聚得很細的電子束在試樣表面做逐點逐行的運動，也就是光柵狀掃描。

                 圖1 臺式掃描電子顯微鏡結(jié)構(gòu)原理示意圖

國產(chǎn)臺式掃描電子顯微鏡

以上就是臺式掃描電子顯微鏡的基本結(jié)構(gòu)和原理介紹。掃描電子顯微鏡操作簡單，觀察方便，搭配適當?shù)奶綔y器后可以做微區(qū)成分分析、晶體結(jié)構(gòu)分析以及各種原位實驗。這也是為什么掃描電鏡得到如此普遍應(yīng)用的原因之一。希望以上的介紹能對大家有所幫助。如果需要了解臺式掃描電子顯微鏡產(chǎn)品及價格，歡迎您咨詢