能譜儀(EDS ，Energy Dispersive Spectrometer) 是用來(lái)對(duì)材料微區(qū)成分進(jìn)行分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡以及掃描透射電子顯微鏡使用的一種儀器 。

能譜儀分析對(duì)樣品的要求:

為了保證準(zhǔn)確的定量結(jié)果 ，樣品應(yīng)滿(mǎn)足如下條件 :

1、在真空和電子束轟擊下穩(wěn)定，樣品組分不會(huì)蒸發(fā)或分解。

2、分析面平坦，與電子束垂直。

3、樣品上被檢 區(qū)域尺寸應(yīng)大于X射線(xiàn)擴(kuò)散范圍，減少基體的 影響。

4、有良好的導(dǎo)電和導(dǎo)熱性能，沒(méi)有荷電現(xiàn)象，分析部位穩(wěn)定。

5、樣品為均質(zhì)材料。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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