掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope，SEM）是一種利用電子束與樣品相互作用，獲得高分辨率的顯微成像的儀器。其原理可以簡單描述如下：

電子源發(fā)射出電子束，經(jīng)過一系列的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行聚焦，使得電子束成為一個極細(xì)的束。

電子束與樣品相互作用，產(chǎn)生各種信號，如二次電子、反射電子、散射電子等。

收集并處理這些信號，形成樣品的圖像。

其中，二次電子是主要的信號，它們是由于電子束與樣品表面原子相互作用而發(fā)射出來的。收集和處理二次電子信號可以獲得樣品的表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)信息。

掃描電子顯微鏡在成像時，需要對樣品進(jìn)行導(dǎo)電處理，以保證電子能夠在樣品表面上流動，而不是被樣品表面電荷所阻擋。常見的導(dǎo)電處理方法包括金屬涂層、碳薄膜涂層、真空鍍膜等。

臺式掃描電鏡

總的來說，掃描電子顯微鏡利用電子束與樣品相互作用，通過收集并處理二次電子信號，獲得樣品表面的高分辨率圖像。

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