在掃描電鏡（SEM）成像中出現條紋或噪聲可能會影響圖像質量，常見的條紋和噪聲類型及其可能原因如下：

1. 規(guī)則條紋（線性或周期性條紋）

可能原因：

電磁干擾（EMI）：來自電機、變壓器或其他電子設備的干擾。

環(huán)境振動：如附近有運行的空調、泵或機械設備。

電源波動：SEM 供電不穩(wěn)定，導致掃描電子束不均勻。

掃描系統(tǒng)問題：電子束掃描不穩(wěn)定，導致周期性信號干擾。

解決方案：

 排查電磁干擾：關閉或遠離可能干擾的設備（如大型機電設備、無線發(fā)射裝置）。

檢查電源穩(wěn)定性：使用穩(wěn)壓電源，確保 SEM 供電穩(wěn)定。

減少環(huán)境振動：避免 SEM 放置在振動源附近，必要時使用防震臺。

調整掃描參數：改變掃描速率、放大倍率或掃描模式，觀察條紋是否消失。

2. 隨機噪聲（顆粒狀或雪花狀噪聲）

可能原因：

探測器信號增益過高：放大器增益過大，導致噪聲明顯。

束流過小：電子束電流太低，導致信號不足。

樣品充電：非導電樣品未正確處理，導致電子積聚。

真空系統(tǒng)不穩(wěn)定：真空度不足，電子束質量下降。

解決方案：

降低探測器增益：適當調整增益和對比度，減少電子信號放大噪聲。

增加束流：適當提高電子束電流，提高信號強度。

處理樣品充電：

濺射導電涂層（如金、鉑、碳涂層）。

降低加速電壓，減少電子積聚。

使用低真空模式（如 ESEM）。

檢查真空狀態(tài)：確保 SEM 維持高真空環(huán)境，避免電子散射。

3. 掃描方向相關的條紋（掃描偽影）

可能原因：

掃描速率過快：信號積分不足，導致條紋。

行同步信號不穩(wěn)定：掃描電子束行程不均勻。

像散未校正：電子束形狀不均勻，導致條紋出現。

解決方案：

降低掃描速率：使用慢掃描模式，提高信噪比。

校正像散：使用 Stigmator 進行像散校正，優(yōu)化電子束聚焦。

調整工作距離：選擇適當的工作距離，提高成像穩(wěn)定性。

4. 電子束不穩(wěn)定導致的隨機跳動

可能原因：

燈絲老化：電子束發(fā)射不穩(wěn)定，導致信號波動。

電子槍污染：電子束不均勻，影響成像質量。

電源噪聲：電流波動導致電子束跳動。

解決方案：

更換電子槍燈絲：如果使用時間過長，考慮更換新燈絲。

清潔電子槍：定期維護，避免污染影響電子發(fā)射。

檢查電源：使用穩(wěn)壓電源，減少電流波動的影響。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡成像中出現條紋或噪聲的解決方法。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢