原位MEMS-TEM-STM多場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)（非定量力+電+光+加熱）是原位透射電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，使研究者可以在透射電子顯微鏡中構(gòu)建一個(gè)可控的多場(chǎng)環(huán)境（包括力，熱，光，電等），從而對(duì)材料或者器件等樣品實(shí)現(xiàn)多重激勵(lì)下的原位表征。

光纖指標(biāo)

●多模光纖外徑250um，保證電鏡系統(tǒng)真空指標(biāo);

●可選光纖探針、平頭光纖;

●配備快速SMA接頭、FC接頭。

加熱指標(biāo)

●溫度控制范圍：室溫至1000℃；

●溫度準(zhǔn)確度：優(yōu)于5%；

●溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.1℃。

產(chǎn)品特色

●可通過(guò)簡(jiǎn)單更換MEMS芯片種類(lèi)以及不同STM探針為樣品施加四種激勵(lì)，實(shí)現(xiàn)多種復(fù)雜的測(cè)試功能，完成以往無(wú)法實(shí)現(xiàn)的研究；

●高溫拉伸/壓縮 (加熱芯片+電學(xué)STM探針) ;

●熱電子發(fā)射/場(chǎng)發(fā)射 (加熱芯片+電學(xué)STM探針) ;

●三端器件測(cè)量 (電學(xué)芯片+電學(xué)STM探針) ;

●電致發(fā)光現(xiàn)象研究 (電學(xué)芯片+光學(xué)STM探針) ;

●光電現(xiàn)象研究 (電學(xué)芯片+光學(xué)STM探針) ；

●穩(wěn)定性高：輕松獲得大幅度運(yùn)動(dòng)中的高分辨像，適用于更廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景和樣品體系；

●很長(zhǎng)的壽命：專(zhuān)利技術(shù)（專(zhuān)利種類(lèi)：實(shí)用新型（具備高分辨多維操縱和電學(xué)測(cè)量的電子顯微鏡原位樣品桿） 專(zhuān)利號(hào)：202020944865 .4）的“爪-球”結(jié)構(gòu)探針桿因其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，是公認(rèn)皮實(shí)耐用的探針桿；

●很低維護(hù)成本：設(shè)備配套的針尖制備系統(tǒng)可低成本制備針尖耗材?！弊?球“微動(dòng)結(jié)構(gòu)已實(shí)現(xiàn)模塊化量產(chǎn)，維護(hù)成本低；

●很大的用戶(hù)群：在國(guó)內(nèi)擁有近200個(gè)高質(zhì)量原位用戶(hù)，出口到歐美澳等地。每年，用戶(hù)會(huì)產(chǎn)出大量高質(zhì)量研究成果。定期組織各類(lèi)用戶(hù)交流活動(dòng)，搭建學(xué)術(shù)平臺(tái)供用戶(hù)交流；

●成熟的技術(shù)支持網(wǎng)絡(luò)：在安徽、北京、東莞和上海擁有分公司，其他各地?fù)碛腥舾杉夹g(shù)支持網(wǎng)點(diǎn)，24小時(shí)提供技術(shù)支持。

應(yīng)用領(lǐng)域