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探針臺(tái)及低溫系統(tǒng)每一部工程作品都精雕細(xì)琢

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SEM納米探針臺(tái)

SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。

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    SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。

    SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),運(yùn)無需潤滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。

    三軸探針臺(tái)由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺(tái)。平上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實(shí)現(xiàn)微納操縱和測量的目的。

    SEM納米探針臺(tái)參數(shù)信息.jpg

    ? 主要參數(shù)

    ▲ 兼容性:適配多種鎢燈絲、場發(fā)射SEM,保證電鏡安全性

    ▲ 探針驅(qū)動(dòng)方式:PZT壓電陶瓷

    ▲ XYZ行程:XY軸行程≥±10mm,Z軸行程≥10mm

    ▲ 細(xì)調(diào)行程:3um

    ▲ 細(xì)調(diào)最小步長:≤1nm

    ▲ 控制模式:開環(huán)/閉環(huán)

    ▲ 探針數(shù)量:最多支持8探針

    ▲ 制冷系統(tǒng)(選配功能):熱臺(tái)200℃;冷臺(tái)-60℃(TEC);冷臺(tái)-170℃(液氮)

    主要配置

    壓電探針臺(tái)、壓電三軸位移控制器、PC+軟件(閉環(huán)選配)、壓電冷臺(tái)(選配)、手提箱、源表(選配)、制冷系統(tǒng)(選配)、定制適配電鏡法蘭、工具附件等

    • 結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性

    • 壓電陶瓷位移平臺(tái)具有超長使用壽命

    • 內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋 

    • 應(yīng)用:納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測量、生物細(xì)胞DNA操作等

    • 適配SEM:日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等



應(yīng)用案例

    SEM納米探針臺(tái)應(yīng)用——對(duì)二維材料的電學(xué)測量1.jpg        SEM納米探針臺(tái)應(yīng)用——對(duì)器件的電學(xué)測量2.jpg

                                    對(duì)二維材料的電學(xué)測量                                                                                對(duì)器件的電學(xué)測量

    SEM納米探針臺(tái)應(yīng)用——對(duì)芯片的電學(xué)測量4.jpg        SEM納米探針臺(tái)應(yīng)用——對(duì)一維材料的電學(xué)測量3.jpg

                                       對(duì)芯片的電學(xué)測量                                                                                    對(duì)一維材料的電學(xué)測量


      kefu-weixin.png




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